USC干式清洗机主要用光电行业玻璃清洗; 技术参数: PASSLINE :900±10mm 流动方向 :从左至右1台,从右至左1台(面对操作面) 基板尺寸 :370×470mm(宽度方向为370mm) 基板厚度 :0.4~1.1mm 处理能力 :24秒/片 外观 :透明PVC板 设备机构及性能: 工作台: 工作平台材质 :S45C。 玻璃基板定位 :边定位。 基板固定方式 :真空吸附固定玻璃基板。 真空源 :真空发生器。 真空台面尺寸 :348×466mm。 台面平面精度 :±0.02mm。 升降重复精度 :±0.02mm 平台驱动 :伺服电机+精密滚珠丝杆。 |